这家成立不到4年的公司，造出了国产28纳米光刻机？

2025/3/29 19:35:34 挖贝网周路遥

半导体领域，当前最火的话题莫过于最近风头大盛的新凯来（SiCarrier Technologies）了。

近期在上海举行的SEMICON China 2025上，这家成立不到四年的公司，一口气展出了30余款产品，包括：

扩散装备RTP（三清山）、EPI（峨眉山）；刻蚀产品ETCH（武夷山）；薄膜产品PVD（普陀山）、CVD（长白山(603099)）、ALD（阿里山）；光学检测产品岳麓山BFI、丹霞山DFI、蓬莱山PC、莫干山MBI；光学量测产品天门山IBO、天门山DBO；PX量测产品沂蒙山AFM、赤壁山-XP XPS、赤壁山-XD XRD、赤壁山-XF XRF；功率检测产品RATE-CP、RATE-KGD、RATE-FT。

从公开资料来看，这些设备的技术含量还相当高。

行业分析称，新凯来此次展示的高精度薄膜沉积设备采用独特的反应腔设计，能够实现纳米级薄膜均匀性控制，技术参数已接近国际领先水平。新一代涂胶显影设备则突破国外技术垄断，在分辨率和产能方面达到业界先进标准，可满足14纳米及以上制程工艺需求。

另外，活动现场一名新凯来工作人员表示，其中一些设备（包括不在产品清单上的刻蚀设备）能够支持5纳米芯片的生产。

而且，这还不是最让人震惊的，最让人震惊的是，新凯来连光刻机都造。

据多家外媒报道，新凯来已成功研发出适用于 300 毫米晶圆的 28nm 浸润式光刻系统，其光源波长、套刻精度等核心技术參數达到国际同类产品水平。

这就好比一个4岁的小孩，突然跑过来告诉你，他18般武艺样样精通。而且更让人震惊的是，他还掌握了至高心法——光刻机的制造。

新凯来是何方神圣？

罗马不是一天建成的。能在这么短的时间内，取得这样的成绩，新凯来大概率大有来头！

企查查显示，新凯来成立于2021年8月，注册资本15亿元，由深圳市国资委全资控股。同时，新凯来在官网表示，公司核心团队具备20年以上电子设备技术开发经验，并联合了众多国内半导体制造设备和零部件合作伙伴，为国内半导体设备厂、FAB厂、电子电器设备厂、研究机构提供先进的解决方案，相关产品广泛应用于国内顶级制造企业和研究、测试机构。

据日经亚洲报道，新凯来在深圳政府的支持下,一直在开发芯片制造设备,并将ASML,Applied Materials和Lam Research等公司的机器作为基准。

不过这依然不能解释新凯来为什么能在4年内造出包括28纳米光刻机在内的30余款先进半导体设备。芯辰大海在查阅资料时，看到了一些小道消息，当然这些消息不保真。

其70%的核心研发团队来自华为海思和2012实验室，技术路线更延续了华为被制裁后启动的“备胎计划”。2022年，华为将半导体设备子公司剥离给深圳国资委，这场低调的资本腾挪，让华为的技术火种在国资护航下涅槃重生。

新凯来光刻机