微美全息（NASDAQ:WIMI）开发基于数字全息技术的半导体晶圆缺陷检测技术

2023/7/12 17:26:35 企业供稿

据报道，微美全息（NASDAQ:WIMI）作为领先的技术创新公司，近日成功开发了一种基于数字全息技术的半导体晶圆缺陷检测技术，为半导体制造行业带来了重要的突破。

半导体制造过程中的缺陷检测是确保良率提升和过程监控的关键一环。近期，国际技术路线图委员会（ITRS）将高纵横比结构确定为半导体制造中的关键结构，然而目前尚未找到已知的可制造缺陷检测解决方案。WIMI微美全息开发了一种基于数字全息术的创新检测技术，旨在满足半导体晶圆缺陷检测的需求。该技术利用数字全息术记录波前从目标物体直接到CCD相机获取的单个图像的振幅和相位，通过分辨高度差的相位差，能够有效地发现晶圆上小至几纳米的缺陷。

数字全息技术是一种基于光学原理的高分辨率成像技术，能够记录并分析目标物体的波前信息。通过利用深紫外激光照明和相位差分析，该技术能够精确地检测到高纵横比结构上小至几纳米的缺陷。相比传统的缺陷检测方法，数字全息技术具有更高的灵敏度、更好的分辨率以及无损检测的优势。半导体晶圆的缺陷检测一直是半导体制造过程中不可或缺的一环。随着半导体器件尺寸的不断缩小和工艺的复杂化，传统的缺陷检测方法面临着挑战。针对这一问题，WIMI微美全息的研发团队经过不懈努力，成功地将数字全息技术引入到半导体晶圆的缺陷检测中。

数字全息技术利用深紫外激光照明，记录目标物体波前的振幅和相位信息。通过将激光束分为参考光和物光，将它们分别照射到CCD相机和待测物体上，得到参考光和物光的干涉图案。然后，通过数学重构算法，可以从干涉图案中恢复出物光的振幅和相位信息。相位信息能够准确地反映目标物体的表面形貌。

WIMI微美全息通过使用数字全息技术的半导体晶圆缺陷检测技术的成功开发，将为半导体制造行业带来诸多好处。首先，数字全息技术能够提高制造良率，减少缺陷产品的生产和浪费。其高灵敏度和分辨率使得对高纵横比特征的缺陷检测更加准确和可靠，有助于及早发现并解决生产中的问题。

其次，数字全息技术提供了缺陷的相位信息，使得用户可以直观地观察和分析缺陷的形态、尺寸和拓扑结构。这对于理解缺陷的产生机制和优化制造流程具有重要意义。此外，该技术还可以生成晶圆表面的三维图像，进一步提供对缺陷的可视化和深入分析。

此外，微美全息（NASDAQ:WIMI）的数字全息技术在多项实验和测试中取得了显著的成果。与其他晶圆检测技术相比，数字全息技术在高纵横比结构的缺陷检测方面表现出独特的优势。该项技术已经成功应用于几种缺陷检测基准晶圆，并与其他传统方法进行了比较。实验结果表明，数字全息技术在检测高纵横比特征的缺陷方面具有出色的性能。特别是对于蚀刻不正确的触点等高度差小至几纳米的缺陷，数字全息技术能够精确地捕捉到，并提供高质量的相位和振幅图像。数字全息技术在半导体晶圆缺陷检测中具有以下优势：

高灵敏度和分辨率：数字全息技术能够检测到小至几纳米的缺陷，对高纵横比结构的缺陷检测具有较高的灵敏度和分辨率。

无损检测：数字全息技术是一种非接触式的检测方法，对晶圆样品没有物理损伤，能够保持样品的完整性和可重复性。

缺陷可视化和拓扑结构分析：数字全息技术提供了缺陷的相位信息，使得用户可以直观地观察和分析缺陷的形态、尺寸和拓扑结构。这对于理解缺陷的产生机制和优化制造流程具有重要意义。

自动化和高效性：数字全息技术可以与图像处理和机器学习算法相结合，实现自动化的缺陷检测和分类。通过对大量数据的分析，可以快速准确地识别和定位缺陷，提高生产效率和制造良率。

与其他技术的比较，数字全息技术在对高纵横比特征的缺陷检测方面具有明显的优势，例如蚀刻不正确的触点。数字全息技术能够准确捕捉到这些缺陷，从而改进了对高纵横比特征的缺陷检测能力。

除了卓越的检测能力，数字全息技术还具备自动化和高效性的优势。通过与图像处理和机器学习算法的结合，该技术可以实现自动化的缺陷检测和分类。通过对大量数据的分析，可以快速准确地识别和定位缺陷，从而提高生产效率和制造良率。

数字全息技术在半导体晶圆缺陷检测领域具有广阔的应用前景。随着半导体工艺的不断发展和纳米级制造的需求增加，对高分辨率、高灵敏度的缺陷检测技术的需求不断增加。数字全息技术作为一种非接触式、高分辨率的成像技术，有望成为半导体制造中的重要工具，推动半导体制造的进步。

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