神州股份科创板IPO：等离子体电源系统生产商，破解我国半导体产线“停机风险”，大客户涵盖中微公司、SK海力士

挖贝网 9月16日消息，神州股份闯关科创板上市，6月30日获受理，7月15日获问询。公司计划IPO募资25.22亿元，保荐机构为国泰海通证券。神州股份是一家等离子体电源系统生产商，我国在该领域国产化率较低，而公司凭借突出的产品与技术实力，破解我国半导体产线“停机风险”，大客户涵盖中微公司、SK海力士等。

神州股份主要产品为半导体关键工艺设备核心零部件——等离子体电源系统，包括等离子体射频电源系统、远程等离子体源系统、高压脉冲电源系统等，并为芯片产线提供相应技术支持服务。等离子体源技术是实现半导体芯片先进制程的必要技术手段，神州股份约九成以上收入是来自半导体领域。

等离子体电源系统在半导体产业链中的作用是什么？等离子体是固、液、气以外的物质第四态，如同将图案“刻进”晶圆的刻刀，使纳米级立体结构得以成型。但当等离子体应用在刻蚀、沉积中，浓度、状态一直在实时改变，会让能量传递的“阻力”不断改变，导致能量大量反射、无法高效输送。等离子体电源系统则通过精确控制输出频率和功率，调节等离子体的能量和性质，以满足刻蚀、沉积等不同工艺的需求，可以说是等离子体工艺的精准控制中枢。

可见，等离子体电源系统是半导体先进制程中刻蚀、薄膜沉积等关键设备不可或缺的核心零部件。但该产品市场长期以来被美国、日本等国家的国际半导体巨头企业所垄断，国产化率长期维持在较低区间。

面对这一“卡脖子”难题，神州股份经过多年行业深耕，已成为等离子体电源系统领域国内规模领先的技术支持服务供应商，服务能力覆盖几乎全部主流品牌的全部型号产品，为我国半导体芯片产线破解“停机风险”，保障产线稳定、持续运转提供有力支撑。公司自研产品等离子体射频电源系统、远程等离子体源系统等系列产品总体性能达国际同类产品水平，并在部分关键技术参数取得领先，成功实现了对国际巨头产品的国产化替代。

神州股份凭借领先的产品性能与技术实力，成功赢得头部企业认可。神州股份在招股书中介绍称，公司自研产品已批量导入中微公司、拓荆科技、北方华创等国内头部半导体设备厂商，可适配14纳米及以下逻辑芯片、2XX层及以上存储芯片等先进制程产线，有力推动了我国半导体先进制程关键工艺设备的国产化进程。

与此同时，神州股份技术支持服务已覆盖台积电、英特尔、三星电子、SK海力士、美光科技、德州仪器、华润微等国内外主流芯片产线，以及应用材料、中微公司、拓荆科技、北方华创等国内外知名半导体设备厂商，是国内少数在该领域同时进入应用材料、英特尔、三星电子、SK海力士等国际头部厂商供应链的本土企业。

据招股书披露，神州股份2024年、2025年第一大客户是中微公司，前五大客户包括SK海力士、英特尔、拓荆科技等。

神州股份技术支持服务市场地位突出，根据QYResearch统计，2025年公司在中国大陆等离子体电源领域技术支持服务市场份额排名第一。

业绩方面，神州股份2023年至2025年营收分别为2.61亿元、4.46亿元、6.54亿元，归母净利润分别为-2158万元、1.36亿元、2.09亿元，呈快速攀升趋势。从业务构成来看，2023年至2025年公司自研产品销售收入从2118万元增至3.54亿元，年均复合增长率达309%，呈爆发式增长趋势；技术支持服务收入从2.27亿元增至2.76亿元，稳健增长。