华特气体打破国外技术垄断 获得获广东专利奖金奖
2021/1/15 16:49:37 挖贝网
挖贝网 1月15日消息，由于突破高纯氨气纯化关键技术难题，打破国外技术垄断，华特气体获得第七届广东专利奖金奖和第二十一届中国专利优秀奖。佛山南海区副区长乔吉飞昨日特地向华特气体颁发牌匾及证书。
据介绍，华特气体获得第七届广东省专利奖金奖的专利是“一种氨气的纯化系统”（专利号：ZL201610972516.1），该系统经闪蒸、多次吸附、精馏等工艺，能制取纯度达99.99999%以上产品，突破高纯氨气纯化关键技术难题）。此外，该专利能够更好保障工作人员作业安全，生产过程节能环保，减少环境污染，有利于促进半导体行业高质量发展。
华特气体获得第二十一届中国专利优秀奖的专利是“一种三氟甲烷纯化装置及纯化方法”（专利号：ZL201410159290.4），该专利可获得纯度99.999%的CHF3产品，满足半导体行业要求，采用该专利技术的高纯度三氟甲烷产品已经实现批量生产。
华特气体一直非常重视研发和知识产权保护。截至2020年底，华特气体母公司拥有有效专利79件，包括发明专利16件、实用新型62件和外观设计1件。
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